بررسی اثر پایداری دمای زیرلایه بر کیفیت لایه های اکسید روی در روش لایه نشانی لیزری

اکسید روی ZnO یکی از پرکاربرد ترین اکسیدهای فلزی نیم رساناست که به دلیل داشتن ویژگی های منحصر به فرد، کاربرد فراوانی در ساخت ادوات نوری دارد. ویژگی لایه های تهیه شده از این ماده به صورت مستقیم علاوه بر شرایط پرتودهی، به شرایط لایه نشانی آن نیز بستگی دارد. در این مقاله با هدف بررسی ثبات شرایط ترمودینامیکی بر کیفیت انباشت لایه های ZnO به روش لایه نشانی لیزر پالسی، مشخصه های حجم و فشار را در حین لایه نشانی ثابت در نظر گرفتیم و با سرد شدن تدریجی زیرلایه، عامل دما را به عنوان عامل موثر در تغییر شرایط ترمودینامیکی بررسی نمودیم. نتایج بدست آمده از بررسی طیف جذب مریی-فرابنفش و تصاویر میکروسکوپی و SEM نمونه ها حاکی از آن است که کیفیت لایه ها در شرایط ترمودینامیکی پایدار به صورت موثری بهبود می یابد.