ساخت و بهینه سازی حسگر رطوبتی بر پایه ی نانوذرات دی اکسید تیتانیم

هدف از این پژوهش، ساخت حسگر رطوبتی بر پایه نانوذرات پایدار فاز آناتاز دی اکسید تیتانیم جهت بهبود خصوصیاتی عملکردی آن همچون حساسیت، زمان پاسخ و بازیابی است. برای این منظور، نانوذرات دی اکسید تیتانیم با روش آب گرمایی سنتز شدند و سپس مشخصات ساختاری نانوساختار تهیه شده، با میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان داد که دی اکسید تیتانیوم سنتزی به شکل کره هایی با میانگین ابعاد nm 270هستند. برای تهیه حسگر رطوبتی نانوذرات تهیه شده به روش لایه نشانی تیغه ای بر روی مدار الکترود شانه ای لایه نشانی شد. یافته های پژوهش نشان داد که حساسیت حسگر تهیه شده فاز آناتاز در بازه رطوبت نسبی 98-40 %، Rair</sub>/RHumidity</sub>/%RH 81/12 است که در مقایسه با نمونه ایده آل پیشین که مبتنی بر فاز روتیل و آناتاز است 14درصد بهبود یافته است. همچنین، زمان پاسخ و بازگشت این حسگر به ترتیب 2 و 5/4 ثانیه اندازه گیری شد که نسبت به نمونه های پیشین به ترتیب بهبود 14 و 7 برابری داشت.