شبیه سازی و مطالعه ی اثر دمای چشمه در لایه نشانی نانو فیلم های طلا به روش تبخیر حرارتی با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics
نویسنده:
چکیده:
در این مقاله، فرآیند لایه نشانی فیلم های نازک طلا، به کمک روش تبخیر حرارتی شبیه سازی شد. برای این منظور از نرم افزار COMSOL Multiphysics استفاده گردید. مدل سه بعدی در محیط نرم افزار ایجاد شده و هندسه، تحلیل مش ها، شرایط مرزی و روابط مورد نیاز معرفی و مورد مطالعه قرار گرفتند. ضخامت، چگالی، شار گرما، فشار و سایر پارامتر های مرتبط با لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفتند. با استفاده از رگرسیون صفحه ای، معادله ی سطوح نانو فیلم های طلا محاسبه و اثر دمای چشمه بر رشد فیلم های نازک طلا بررسی گردید. نتایج نشان داد که بین ضخامت فیلم نازک و دمای چشمه رابطه ی مستقیم وجود دارد. با استفاده از برازش غیر خطی مدلی برای وابستگی ضخامت فیلم نازک به دمای چشمه ارائه گردید. با مقایسه نتایج بدست آمده از شبیه سازی ها در این کار برای ضخامت و انحنای سطح فیلم های نازک طلا با رفتار مورد انتظار از توزیع جرم روی زیرلایه، تطابق بین مقادیر شبیه سازی شده و این رفتار مشاهده گردید.
کلیدواژگان:
زبان:
فارسی
صفحات:
7 تا 25
لینک کوتاه:
magiran.com/p1636476
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!