بررسی تغییرات ریزساختاری پوشش های نانوساختار سخت با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ های الکترونی روبشی SEM و عبوری TEM

نتایج تحقیقات مختلف نشان داده است که رابطه ای قوی بین ریزساختار یک پوشش و خواص مکانیکی، الکتریکی و نوری آن وجود دارد. بررسی دقیق ریزساختار یک پوشش، به میکروسکوپ های الکترونی نیاز دارد که قدرت تشخیص آنها در محدوده نانو و یا حتی کوچک تر از آن باشد. هدف از استفاده میکروسکوپ های الکترونی در علم مواد، یافتن رابطه ی بین ریزساختار و خواص مختلف مواد است. در مقاله حاضر اصول کارکرد و روش تهیه نمونه مناسب برای میکروسکوپ های الکترونی با تمرکز بر میکروسکوپ الکترونی عبوری، به عنوان روشی مفید جهت ارزیابی ریزساختار پوشش های نانوساختار مورد بحث قرار خواهد گرفت. در انتها به منظور درک بهتر روش های استفاده از میکروسکوپ های الکترونی در شناخت ریزساختاری پوشش های نانوساختار، تغییرات ریزساختاری پوششهای CrAlN و نانوکامپوزیتی TiAlN/a-C با تغییر ترکیب شیمیایی آنها با استفاده از میکروسکوپ های الکترونی مورد بررسی قرار گرفته است.