سنتز لایه های نازک ترکیبی MoS2/MoO3 با استفاده از روش اسپری پایرولیزیز و بررسی تاثیر فرایند بازپخت بر روی خواص فیزیکی آنها

در این تحقیق تاثیر دمای زیرلایه و نیز فرآیند بازپخت در جو گوگرد بر روی خواص ساختاری، ریخت شناسی سطح، اپتیکی، الکتریکی و ترموالکتریکی لایه های نازک ترکیبی تری اکسید مولیبدنیوم/دی سولفید مولیبدنیومMoO3) /(MoS2 تهیه شده با روش اسپری پایرولیزیز مورد مطالعه قرار گرفت. تحلیل الگوهای پراش پرتو ایکس لایه های نازک مورد مطالعه حاکی از تشکیل ساختاری بلوری با دو فاز راستگوشه MoO3 و فاز شش گوشی MoS2 بود. پس از فرآیند سولفوردهی، قله های مربوط به فاز اکسیدی در آنها ناپدید شد و ساختار تک فاز MoS2 شکل گرفت. تصاویر میکروسکوب الکترونی روبشی گسیل میدانی بیانگر سطوحی بطور یکنواخت پوشیده شده از ذرات با اشکال کروی شکل بودند. همه نمونه ها از ضریب جذبی در حدود cm-1 104 برخوردار بوده و انرژی گاف نواری آنها پس از فرآیند سولفوردهی به طور قابل ملاحظه ای بطور متوسط از 60/2 تا eV 55/1 کاهش یافتند. داده های اثر هال نشان داد که لایه های نازک MoS2 از رسانندگی حفره ای (در توافق با روند تغییرات ضرایب سیبک) و نیز تراکم حفره ای از مرتبه cm-3 1015 برخوردار بودند.