طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS
نویسنده:
نوع مقاله:
مقاله پژوهشی/اصیل (دارای رتبه معتبر)
چکیده:
هدف این مقاله، معرفی یک طراحی فرآیند ساخت ساده به منظور پیاده سازی آرایه ای از میکرو تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای از جنس SiO2/Al است که مبتنی برپایه فناوری میکرو ماشین کاری حجمی می باشد. به کمک این فرآیند می-توان تیرک های دوماده ائی را در آزمایشگاه های تحقیقاتی با امکانات محدود پیاده سازی نمود. از نتایج حاصل از این مقاله می توان برای ساخت حساسه ها بر پایه تیرک های یک سر آزاد از جنس SiO2/Al استفاده نمود. بزرگ ترین مشکل فنی در ساخت این نوع از تیرک ها به روش میکرو ماشین کاری حجمی، حفاظت از Al در داخل زدایشگرهای سیلیکون از قبیل KOH، EDP و TMAH است که در این روش از زدایشگر سیلیکون Dual doped TMAH استفاده شده است. این فرآیند با سه عملیات لیتوگرافی یک طرفه و یک عملیات لیتوگرافی دوطرفه توسط دو ماسک کرمی و یک ماسک پلاستیکی شفاف تحقق یافته است. همچنین با استفاده از معلق سازی تیرک ها به روش رهاسازی تر در دمای محیط از پیچیدگی رهاسازی تیرک ها از لایه قربانی اجتناب شده است. با این فرآیند، آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده-ای به طول های μm50، 100، 150، 200، 250، 300، 350 و 400 و به عرض های μm20 و 40 باضخامت μm1 برای SiO2 و nm200 برای Al ساخته شده اند.
کلیدواژه ها
کلیدواژه ها
کلیدواژگان:
زبان:
فارسی
در صفحه:
85
لینک کوتاه:
magiran.com/p1789527
دانلود و مطالعه متن این مقاله با یکی از روشهای زیر امکان پذیر است:
اشتراک شخصی
با عضویت و پرداخت آنلاین حق اشتراک یکساله به مبلغ 1,390,000ريال میتوانید 70 عنوان مطلب دانلود کنید!
اشتراک سازمانی
به کتابخانه دانشگاه یا محل کار خود پیشنهاد کنید تا اشتراک سازمانی این پایگاه را برای دسترسی نامحدود همه کاربران به متن مطالب تهیه نمایند!
توجه!
- حق عضویت دریافتی صرف حمایت از نشریات عضو و نگهداری، تکمیل و توسعه مگیران میشود.
- پرداخت حق اشتراک و دانلود مقالات اجازه بازنشر آن در سایر رسانههای چاپی و دیجیتال را به کاربر نمیدهد.
In order to view content subscription is required
Personal subscription
Subscribe magiran.com for 70 € euros via PayPal and download 70 articles during a year.
Organization subscription
Please contact us to subscribe your university or library for unlimited access!