طراحی و ساخت میکروآیینه شکل پذیر پلیمری جهت استفاده در سیستم های اپتیک تطبیقی

دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف پذیرپلیمری مبتنی بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده است. میکروآیینه های انعطاف پذیرمعمولا در سیستم های اپتیک تطییقی جهت تصحیح اعوجاج های موجود در جبهه موج نور بکار می روند ازاین رو می بایست دارای دیافراگمی منعطف باشند. در این تحقیق دیافراگم میکروآئینه، از جنس پلیمرSU-8 ساخته شده و بر روی آرایه ای از الکترودهای ثابت قرارگرفته است. این دیافراگم با مدول یانگی حدود 50 برابر کمتر از نمونه های رایج سیلیکونی، امکان جابجایی دیافراگم بیشتر و در نتیجه قابلیت تصحیح ابیراها با ولتاژ کمتر را مقدور می سازند به گونه ای که دیافراگرم به شعاع mm5/2 و ضخامتμm 10 را با اعمال ولتاژ120ولت حدود μm 4 جابجا می کند . علاوه براین، استفاده از مواد پلیمری بجای سیلیکون در ساخت دیافراگم، سادگی و کم هزینه بودن فرآیند ساخت را نیز به همراه دارد. اما دیافراگم های پلیمری رایج، صافی سطح کمتری در مقایسه با نمونه های سیلیکون دارند. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری جدیدی برای ساخت میکروآیینه استفاده شده که علاوه بر تمام مزایای آیینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه های سیلیکونی برابری می کند. نتیجه اندازه گیری ناهمواری سطحی حدود واریانس ناهمواری سطح 20 نانومتر را نشان داد. همچنین، به منظور بهینه کردن طرح ساختاری از شبیه سازی المان محدود استفاده شده است.