بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک اکسید مولیبدن در لایه نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا (HiPIMS)

در این تحقیق لایه های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه های شیشه ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت 66/0=O2/Ar لایه نشانی شده اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف سنجی فوتوالکترون پرتوی ایکس (XPS) تعیین و به صوررت MoOx با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس های طولانی تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ها می شود.