استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر PMMA

روش های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته اند. در این مقاله، روشی مفید و کم هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده است. فرآیند حرارتی مورد استفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار می باشد که همگی مورد بررسی قرار گرفته اند. برای اینکه بتوان از ساختار ایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آب گریز PMMA، آب دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته شده اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبول می باشد. ویژگی های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایه شیشه ای برای مهر و ورق های پلکسی به عنوان بستر می باشند.