بررسی تاثیر نویز آکوستیکی پرتوان فرکانس بالا بر عملکرد ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS

در مقاله حاضر، تاثیر نویزهای آکوستیکی پرتوان فرکانس بالا بر پاسخ دینامیکی و صحت سیگنال حسگری ژیروسکوپ های ارتعاشی MEMS مورد بررسی قرار گرفته است. در ابتدا، با در نظر گرفتن چارچوب محافظ معادلات دیفرانسیل دینامیک سیستم با چهار درجه آزادی استخراج شده و به صورت معادلات حالت بازنویسی شده اند. در این معادلات، اندرکنش امواج نویز آکوستیکی به شکل نیروی مکانیکی وارد شده به چارچوب محافظ ژیروسکوپ در نظر گرفته شده است. در ادامه، یک مدل سیمولینک از دینامیک ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS پیاده سازی شده و سپس، اثر نویزهای پرتوان فرکانس بالای آکوستیکی هارمونیک و تصادفی بر عملکرد ژیروسکوپ مورد مطالعه قرار گرفته است. همچنین، تاثیر تغییرات پارامترهای مختلفی مانند فرکانس نویز هارمونیک، سطح فشار صوتی و ضریب کیفیت ژیروسکوپ بررسی شده اند.