به جمع مشترکان مگیران بپیوندید!

تنها با پرداخت 70 هزارتومان حق اشتراک سالانه به متن مقالات دسترسی داشته باشید و 100 مقاله را بدون هزینه دیگری دریافت کنید.

برای پرداخت حق اشتراک اگر عضو هستید وارد شوید در غیر این صورت حساب کاربری جدید ایجاد کنید

عضویت

جستجوی مقالات مرتبط با کلیدواژه "address layer" در نشریات گروه "فنی و مهندسی"

جستجوی address layer در مقالات مجلات علمی
  • امیرهوشنگ رمضانی*، امیرحسین ساری، رشا سعد یوسف کریزی

    نیترید تانتالوم   (TaN)  به دلیل خواص منحصر به فردی مانند سختی بالا و مقاومت بالا در برابر سایش و همچنین مقاومت الکتریکی پایدار، در صنایع مکانیکی و میکروالکترونیک به طور گسترده استفاده می شود. نظر به اهمیت موضوع، در مقاله حاضر، با در نظر گرفتن مراجع معتبر، بررسی جامعی از پیشرفت های تحقیقاتی در زمینه روش های لایه نشانی، روش های مشخصه یابی، خواص و کاربردهای لایه های نازک نیترید تانتالوم به عمل آمده است. به این منظور، ابتدا  تولید و لایه نشانی این لایه های نازک  توسط روش هایی مانند رسوب دهی فیزیکی (PVD)، کندوپاش مگنترون RF پالسی و فرکانس رادیوییDC مورد مطالعه قرار گرفته اند. همچنین در ادامه، خواص ساختاری، میکروسکوپی، الکتریکی، اپتیکی، مکانیکی و تریبولوژیکی لایه های نازک نیترید تانتالوم به طور جامع مورد بحث قرار گرفته اند. به این منظور از تحلیل الگوهای پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی، میکروسکوپ الکترون روبشی، محاسبه نرخ سایش لایه ها، تاثیر تغییر محتوای نیتروژن ولتاژ بایاس بستر بر روی تنش پسماند لایه ها، تغییر سختی و  مدول الاستیک لایه های نیترید تانتالوم با نسبت جریان نیتروژن، ضریب شکست و ضریب خاموشی لایه ها، طیف عبور اپتیکی لایه ها،  مقاومت الکتریکی لایه در جریان نیتروژن مختلف، مقاومت سطحی نرمال شده برحسب دما و تغییرات مقاومت سطحی لایه های نگه داشته شده در  دماهای مختلف به تفصیل مورد بررسی قرار گرفته است.  نتایج بررسی شده نشان می دهد که لایه های نازک تولید شده مذکور، پتانسیل بالایی برای کاربرد در زمینه های مختلف به خصوص در محیط های سخت با دما و فشار بالا دارند. این مقاله مروری، می تواند مرجعی مناسب و جامع برای پژوهش هایی باشد که در زمینه لایه های نازک نیترید تانتالوم و فناوری های مرتبط با آن انجام خواهد شد. این مطالعه بینش های ارزشمندی را در مورد بهینه سازی پارامترهای کندوپاش برای تولید لایه های نازک نیترید تانتالوم با کیفیت بالا بر روی بسترهای مسی ارائه می دهد. یافته ها نشان می دهد که دمای زیرلایه یک پارامتر حیاتی است که برای دست یابی به خواص ساختاری و مورفولوژیکی مطلوب لایه های نازک نیترید تانتالوم باید به دقت کنترل شود.

    کلید واژگان: نیترید تانتالوم, کاشت, لایه نازک, خواص ساختاری
    AmirHoshang Ramezani*, Amirhosain Sari, Rasha Saad Kerazi

    Tantalum nitride (TaN) is widely used in mechanical and microelectronic industries due to its unique properties such as high hardness and high we are resistance as well as stable electrical resistance. Considering the its importance in this paper, taking into account the reliable references, a comprehensive review of research developments in the field of layer identification methods, characterization methods, properties and applications of TaN thin films has been carried out. For this purpose, firstly, the production and deposition of these thin layers have been studied by methods such as physical deposition (PVD), DC and RF magnetron sputtering. In addition, the structural, microscopic, electrical, optical, mechanical and tribological properties of thin layers of tantalum nitride have been comprehensively discussed. For this purpose, by analyzing X-ray diffraction patterns, atomic force microscope, scanning electron microscope, calculating the we arrate of the layers, the effect of changing the nitrogen content of the substrate bias voltage on the residual stress of the layers, changing the hardness and elastic modulus of the tantalum nitride layers with the current ratio Nitrogen, refractive index and extinction coefficient of layers, optical transmission spectrum of layers, electric resistance of layer in different nitrogen flow, surface resistance normalized according to temperature and changes of surface resistance of layers kept at different temperatures have been investigated in detail. The reviewed results show that the produced thin layers have a high potential for application in various fields, especially in harsh environments with high temperature and pressure. This review Article can be a suitable and comprehensive reference for the research that will be done in the field of TaN thin films and related technologies.

    Keywords: tantalum nitride, thin layer, address layer
  • طراحی و ساخت ساختار فلز- اکسید- نیمه هادی به روش لایه نشانی الکتروشیمیایی
    عاطفه چاه کوتاهی*

    تولید پیوند فلز- عایق- نیمه هادی MOS  به روش فلزنشانی الکتروشیمیایی گزارش گردیده است. برای انجام کار ابتدا مفتولی از جنس نیکل- کروم  را در محیط های الکترولیت مناسب قرار داده و با اعمال ولتاژ، بترتیب لایه های نازک آلومینیوم و فلز روی بر سطح آن نشانده شد . در مرحله بعد لایه های حاصل در دمای 400 درجه سانتیگراد در معرض هوا اکسید گردید تا لایه های اکسید آلومینیوم به عنوان عایق و اکسید روی به عنوان نیمه هادی تشکیل گردد. با بررسی منحنی آرنیوس ضمن تایید نیمه هادی بودن لایه اکسید روی فاصله ترازهای انرژی ناخالصی  از تراز هدایت آن 18/0 ولت به دست آمد. همچنین با بررسی منحنی C-V در خازن MOS حاصله، ضمن تایید تشکیل پیوند فلز- عایق- نیمه هادی، ولتاژ آستانه آن حدود 75/2 ولت بدست آمد. این فعالیت خصوصا نشاندن لایه هایی از مواد مختلف به عنوان روش نو قابل عرضه است.

    کلید واژگان: پیوند MOS, لایه نشانی, الکتروشیمیایی, نیمه هادی
    Design and fabrication of metal-oxide-semiconductor structure by electrochemical coating method
    Atefeh Chahkoutahi *

    Production of metal-insulation-semiconductor MOS bond by electrochemical metallurgy method has been reported. To do the work, first a nickel-chromium wire was placed in a suitable electrolyte medium and by applying voltage, thin layers of aluminum and zinc metal were placed on its surface, respectively. In the next step, the resulting layers were oxidized in air at 400 ° C to form aluminum oxide layers as insulation and zinc oxide as semiconductors. By examining the Arrhenius curve while confirming that the oxide layer is semiconductor, the distance between the impure energy levels and its conductivity level was 0.18 volts. Also, by examining the C-V curve in the resulting MOS capacitor, while confirming the formation of metal-insulation-semiconductor bond, its threshold voltage was about 2.75 volts.  This activity, especially the placement of layers of different materials can be offered as a new method.

    Keywords: MOS bonding, address layer, Electrochemical, semiconductor
نکته
  • نتایج بر اساس تاریخ انتشار مرتب شده‌اند.
  • کلیدواژه مورد نظر شما تنها در فیلد کلیدواژگان مقالات جستجو شده‌است. به منظور حذف نتایج غیر مرتبط، جستجو تنها در مقالات مجلاتی انجام شده که با مجله ماخذ هم موضوع هستند.
  • در صورتی که می‌خواهید جستجو را در همه موضوعات و با شرایط دیگر تکرار کنید به صفحه جستجوی پیشرفته مجلات مراجعه کنید.
درخواست پشتیبانی - گزارش اشکال