ساخت میکروعملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته

نویسنده:

مهرناز اسفندیاری ، رضا اسدی ، پیام حیدری ، علیرضا شمسی

پیام:
کلیدواژگان:

میکروعملگر ، _ عملگر الکتروستاتیکی ، پلیمر SU ، 8 ، سیستم های میکروالکترومکانیکی

زبان:
فارسی
انتشار در:
نشریه صنایع الکترونیک، سال ششم شماره 3 (پیاپی 22، پاییز 1394)
در صفحه:
81
لینک کوتاه:
https://www.magiran.com/p1454106